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VOC廢氣吸附處理有三種燃燒方法，一種是直接燃燒法，這種方法的特點在于工藝簡單、處理效率高，對于高濃度VOCs，去除率可達95%以上。但是當直接燃燒法在處理低濃度VOCs時，必須使用輔助燃料維持燃燒，運行成本大幅增加，且換熱設備龐大，易生成NOx等大氣污染物，甚至形成二噁英等毒性物質，所以近年已較少應用。

還有一種是熱力燃燒法，同樣操作簡單，易于維護，適用于溫度較高、濃度較大、風量較小的有機廢氣，可高效處理絕大多數有機氣體。如與廢熱回收裝置、氣體濃縮裝置結合使用，則經濟適用性強、適用氣體范圍更廣。

另外，還可以通過催化燃燒法進行VOC廢氣吸附處理，含烴類的VOCs氣體在通過催化劑床層時，碳氫分子和氧分子分別被吸附在催化劑表面并被活化，因而能在200～450℃較低溫度下完成反應，氧化分解生成CO2和H2O。由于反應溫度低，熱能消耗量少，在某些情況下，催化燃燒達到起燃溫度后，便無需外界供熱，還能回收凈化后廢氣帶走的熱量。

催化燃燒幾乎可以處理所有含烴類的VOCs廢氣。對于有機化工、涂料、造漆、印刷、食品加工等行業排放的低濃度、多成分、無回收價值的VOC廢氣，采用吸附—催化燃燒法處理效果更好。

而且用催化燃燒法處理進行VOC廢氣吸附處理的話，有機廢氣的凈化率一般可達95%以上，最終產物為無害的CO2和H2O，且由于燃燒溫度低，能大量減少NOx生成，不會造成二次污染，因此被廣泛應用于揮發性有機物，主要來源行業有，半導體微電子、噴漆涂裝、化工、石油、生物制藥、包裝印刷、造紙、涂料裝飾、電鍍、膠黏劑等。

進行VOC廢氣吸附處理之前，首先要收集VOCs治理資料，在獲取一個工程項目信息后，設計人員應及時向企業相關負責人索取設計所需的基本資料。然后進行現場勘查。

到達污染企業現場后，應與企業負責人進行初步溝通，確認廠區內勘察路線，原則上是按生產工藝流程順序進行逐個車間勘察；制定好勘察路線，提出需要企業工藝和安環負責人陪同，在圖紙上記錄各污染產生點的生產工藝設備名稱及平面布置圖中心點位、原材料的使用量、物料平衡、風量、污染物產生量、污染設備大小尺寸、設備間距、設備與治理設施擺放位置之間的距離，需要進行現場照片或視頻，必要時可提出污染源檢測要求。

勘察結束后，與企業相關負責人進行二次交流，根據資料整理后得出的有問題或有疑義部分的資料，并結合勘察現場實際情況，提出相關疑問。此外，還需要涉及企業對污染治理的一些想法、經驗、要求及方案需完成時間等。